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蓟县离子溅射过程中在石墨层上形成的波纹结构

发布时间:2020-06-16 10:13:15 点击量: 5244次

膨胀石墨粉更多资讯尽在天源达石墨。离子轰击造成的表面粗糙度会影响溅射程度,并且会降低深度轮廓分析过程中的深度分辨率。在国外相关实验中,通过原子力显微镜研究在光滑硅基板上沉积的50 nm厚的Ta层上60 nm厚的非晶石墨层的粗糙化。
用一束和两束离子束对固定和旋转样品进行离子轰击,其初始表面粗糙度幅度R a为0.13±0.05 nm。在固定样品上,在石墨层以及C / Ta界面上,在49°和71°的离子入射角处发现了纳米级的波纹形成。根据溅射参数,发现波纹的波长在18.0±4.0至31.4±4.0 nm之间,幅度在1.0±0.2至4.9±0.2 nm之间,从而产生的粗糙度参数R a在0.4±0.1至1.6之间在1×1 µm区域上测得的±0.1 nm。让人意外的是,在掠射离子入射角为71°时,在石墨层中发现了更强的波纹形成。可膨胀石墨用多少合适?样品旋转可抑制波纹形成。



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